四川磁控溅射镀膜机的产品介绍：

一、用途：

磁控溅射镀膜设备主要用于在基片上镀制金属、半导体、电介质、多元素化合物或混合物。利用溅射法可制备金属膜、半导体膜、绝缘膜、硬质膜、耐热膜、耐腐蚀膜、超导膜、磁性膜、光学膜等各种特殊性能的薄膜。

二、主要技术指标：

1.极限真空度：3.0×10^-4Pa（真空室内安装完全的条件下测试）。

2.恢复真空时间：大气→4×10^-3Pa≤15min。

3.测试方法：

A.腔体内应清洁、无样品、无镀膜材料。

B.配正华数字复合真空计壹套（两路低真空电阻规，一路高真空电离规），带通讯接口。

C.低真空测量规：ZJ-52型电阻规（玻璃规），其测量范围1×103 Pa～10^-1Pa。

D.高真空测量规：金属规（电离规），其测量范围10Pa～10^-5Pa。

E.测量规管加金属保护套。

5.真空系统配置：A.分子泵F-250型（一台）(抽速1600L/s,北京泰岳恒）。

6.真空阀门：高真空阀门、低真空阀门、预真空阀门、防喘流阀门均采用活塞式，气缸驱动，气缸采用电磁阀切换汽源，并安装在散热条件好，易于快速维修的位置。

7.放气阀采用气缸控制，设置在抽气室顶部。

8.真空室内密封圈全部采用氟橡胶，能承受高温烘烤，各部分密封安全可靠。

9.真空系统管道采用不锈钢波纹管连接，以减小震动。

10.所有的抽气管道选用..不锈钢材料，并进行抛光处理。

11.低阀、预阀、防湍阀、放气阀等采用304不锈耐酸钢制造。

成都鑫南光机械设备有限公司是一家专业从事四川真空泵,四川光刻机,四川氢气炉生产及销售批发工作的企业,咨询电话:13908187709,028-85730519,拥有**的技术装备和独特的设计,具有丰富的专用设备装配调试技术和经验。