关于四川箱式真空镀膜机产品介绍：

一、概述及特点

1.该镀膜机适用于电子工业溅射各种膜，是开展各种金属膜工艺研究的理想设备。

2.该镀膜机广泛应用于微电子、溅射及光学成膜技术领域。

3.专用电源可有效防止靶中毒及打火现象

4.溅射室取消了传统的钟罩升降机构，特别适合净化间安装，整机操作极为方便。

5.采用机电化一体设计，占地面积小，整体性强，外形整洁美观。

二、主要技术参数

1.真空室内径： Φ530mm；

2.真空室高度： 550mm；

3.极限真空度： 3x10^-4Pa；  

4.恢复真空： 从排大气到4x10^-3Pa≤15min (冷态)；

5.工件夹具转速： 3-30r.p.m  工转为公转，转速可调；

6.基片烘烤： 采用中心烘烤，管状加热器加热，温度250°C，可控可调；

7.工件盘形式： 顶部吊装；

8.溅射方式： 直流溅射；

9.磁控靶数量： 矩形靶，3只。（铝靶3件；铬靶、镍靶各1件）；

10.有效溅射面积： 吊装工件平台范围内；

11.分子泵： F-250型 1600L/S 北京泰岳恒；

12.直联泵： BSV-90直联泵；

13.电源： 三相四线制：220/380V,50Hz；

14.总功率： 约30Kw；

15.耗水： 约40L/min；

16.压缩空气： 0.6-0.8MPa；

17.水压： ≥0.2Mpa；

18.总重量： ≈2T；

19.外形尺寸： 2680(宽)x1200(深)x1800(高)mm；

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