G-43D6型高精密单面光刻机

一 、设备概述

G-43D6型光刻机是根据市场需求研发的产品，可以做Φ6"以下基片，对被光刻基片的外形、厚度要求较低，可对多种材料的基片进行光刻。它特别适用进行一次光刻的产品,可制作声表面器件、可控硅、小液晶显示器、传感器、二极管、园光栅、编码盘等。按用户要求可提供圆形承片台或方形承片台,不管哪一种承片台，如果基片厚度≤2mm，承片台都能实现“真空密着”曝光,加之光均匀性好，所以大大提高光刻质量。

二、主要功能特点

1.适用范围广
适用于Φ6"以下，厚度5mm以下的各种基片(包括非圆形基片)的一次曝光。
2.结构构成
本设备配置有可实现真空硬接触、软接触、微力接触的真空密着机构；具有真空掩膜版架、真空片吸盘。
3.操作简便
本设备操作简单，调试、维护、修理等都非常简便。
4.设备运行稳定、可靠
采用进口电磁阀、按钮、定时器；采用独特的气动系统、真空管路系统和精密的机械零件，使本机具有非常高的可靠性。
5.特设功能
除标准承片台外，还可以为用户定制专用承片台，来解决非圆形基片、碎片和底面不平的基片造成的版片分离不开所引起的版片无法对准的问题

三、主要技术参数

1，操作方式：手动；

2，曝光模式：接触式一次曝光；

3，曝光面积：Φ6"，配置6"LED专用曝光头，光源质保期：1年；

4，平行半角范围≤2.5°，工作距68±5mm；

5，紫外光源中心波长：365nm；

6，基片厚度≤5mm（需要分级，每级级差1mm）；

7，曝光分辨率：1um；

8，光的均匀性：≥96%（测量仪器：光强计；测量方法：逐点检测法）；

9，样品尺寸：∅150mm；

10，曝光强度：≤30mw/cm²（此指标用紫外光源I线365nm测量）；