序号

用 户

设备名称

1

清华大学材料学院

高精密单面光刻机

2

北京大学化学院

高精密单面光刻机

3

上海复旦大学微电子学系

高精密双面光刻机

4

福州大学

高精密双面光刻机

5

北京航空航天大学

高精密单面光刻机

6

吉林大学化学系

高精密单面光刻机

7

四川大学材料学院

高精密单面光刻机

8

南开大学

高精密双面光刻机

9

西安科技大学

高精密单面光刻机

10

浙江理工大学

高精密单面光刻机

11

浙江大学

高精密单面光刻机

12

四川大学物理科学与技术学院

高精密双面光刻机

13

成都理工大学

高精密单面光刻机

14

电子科技大学电子薄膜与集成器件

**重点实验室

高精密单面光刻机

15

贵州大学

高精密单面光刻机

16

天津理工大学

高精密单面光刻机

17

湖北大学物电学院

高精密单面光刻机

18

湖北理工大学

高精密单面光刻机

19

重庆医科大学检验学院

高精密单面光刻机

20

南京大学介观化学实验室

高精密单面光刻机

21

北京大学深圳研究院

高精密双面光刻机

22

重庆师范大学

高精密单面光刻机

23

安徽合肥科技大学

高精密单面光刻机

24

北京化工大学

高精密单面光刻机

25

武汉大学

高精密单面光刻机

26

武汉理工大学

高精密单面光刻机

27

华中科技大学

高精密单面光刻机

28

华中农业大学理学院

高精密单面光刻机

29

河北工业大学

高精密双面光刻机

30

广州暨南大学

高精密单面光刻机

31

湘潭大学

高精密单面光刻机

32

中山大学

高精密单面光刻机

33

温州医科大学

高精密单面光刻机

34

东莞同济大学研究院

高精密双面光刻机

35

云南大学

高精密单面光刻机

36

天水天光半导体有限责任公司

高精密单面光刻机

37

苏州一光仪器有限公司

高精密单面光刻机

38

深圳市朗宏电子有限公司（台资公司）

高精密单面光刻机

39

上海贺鸿电子有限公司（上市公司）

高精密双面光刻机

40

中核建中核燃料元件有限公司

高精密双面光刻机

41

中国航天科技集团公司川南机械厂

高精密单面光刻机

42

深圳新飞通光电技术有限公司

高精密单面光刻机

43

南京百花光电有限公司

(兵器工业部所属企业)

高精密单面光刻机

44

长沙韶普铬版有限公司

高精密单面光刻机

45

长沙韶光铬版有限公司

高精密单面光刻机

46

深圳市鹏宇光电有限公司

高精密单面光刻机

47

深圳市路维电子有限公司

高精密单面光刻机

48

北京大恒新纪元科技股份有限公司

高精密单面光刻机

49

江苏森尼克电子科技有限公司

（中外合资企业）

高精密双面光刻机

50

北京中航兴盛测控技术有限公司

高精密单面光刻机

51

西陇科学股份有限公司（上市公司）

高精密双面光刻机

52

深圳市朗宏电子有限公司（台资公司）

高精密双面光刻机

53

济南力冠电子科技有限公司

高精密双面光刻机

54

麦科勒（滁州）新材料科技有限公司

（中外合资企业）

高精密双面光刻机

55

深圳市中天超硬工具股份有限公司

（上市公司）

高精密双面光刻机

56

中兵航联西南分公司

(兵器工业部所属企业)

高精密双面光刻机

57

昆明银密光学科技有限公司

高精密单面光刻机

58

广东海特创业投资有限公司

高精密双面光刻机

59

武汉三衫科技有限公司

高精密单面光刻机

60

浙江波得光电科技有限公司

高精密单面光刻机

61

天津瑞泰科生物科技有限公司

高精密单面光刻机

62

北京韦思通科技有限公司

高精密单面光刻机

63

贵州皓天光电科技有限公司

高精密双面光刻机

64

武汉市农业科学院环境与安全研究所

高精密双面光刻机

65

上海空间电源研究所

高精密双面光刻机

66

中国电子科技集团公司第四十一研究所

高精密单面光刻机

67

中国电子科技集团公司第四十四研究所

高精密双面光刻机

68

中国工程物理研究院2所

高精密双面光刻机

69

中国科学院物理研究所

高精密单面光刻机

70

航天科工集团二院第25研究所

高精密双面光刻机

71

中国科学院长春光学精密机械研究所

高精密单面光刻机

72

中国科学院半导体研究所

高精密单面光刻机

73

航天材料及工艺研究所

高精密双面光刻机

74

中国科学院武汉物理数学研究所

高精密单面光刻机