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四川光刻机之G-25XA型高精密光刻机的产品介绍:一、 设备的主要用途及特点本设备主要适用于对Φ100mm以下,厚度为5mm以下的各种基…

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四川光刻机之G-25XA型高精密光刻机的产品介绍:

一、 设备的主要用途及特点

本设备主要适用于对Φ100mm以下,厚度为5mm以下的各种基片光刻(包括非常规基片、碎片及表面不平整基片)

二、主要技术指标

1、对准精度:±0.5μm。

2、微动台扫描范围±20mm,X、Y可调范围±4mm。

3、承片台上下可移动范围为5mm,旋转角度最大为90°。

4、采用多点光源曝光头,光源采用GCQ200Z型超高压直流球形汞灯,风冷,(光强稳定可调,不用频繁更换汞灯),光的不均匀性≤±6%(Φ100 mm范围之内) ,最大出射光束为Φ120mm。

5、采用双目分离视场显微镜,放大倍数50X×375X(可采用双CCD加液晶监视器来显示,放大倍数30~189X或67.5X~420X)。

成都鑫南光机械设备有限公司是一家专业从事四川真空泵,四川光刻机,四川氢气炉生产及销售批发工作的企业,咨询电话:13908187709,028-85730519,拥有先进的技术装备和独特的设计,具有丰富的专用设备装配调试技术和经验。

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