G-30D4型高精密单面光刻机
设备概述:
本设备为我公司专门针对各大、中、小型企业的使用特性而研发的一种高精密双面光刻机,它主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、声表面波器件的研制和生产,它具有生产效率高、结构简单、操作维护方便等优势,本机不仅适合4英寸以下各型基片的曝光,也适合易碎片如砷化钾、磷化铟等基片的曝光以及非圆形基片和小型基片的曝光。 主要由防震工作台、LED专用曝光头、气动系统、电气控制系统、真空管路系统、直联式真空泵及附件箱等组成。
曝光头及部件图
主要功能特点
Φ100mm以下,厚度(包括非圆形基片
2. 结构稳定 有真空掩膜版架、真空片吸盘。 本设备操作简单,调试、维护、修理等都非常简便。 采用进口电磁阀、按钮、定时器;采用独特的气动系统、真空管路系统和精密的机械 5. 特设功能 的基片造成的版片分离不开所引起的版片无法对准的问题
主要技术指标 1、曝光类型:接触式,双面,一次同时曝光(配置4″LED专用曝光头) 2、曝光面积:110×110mm; 3、曝光照度不均匀性:≤±3%; 4、曝光强度:0~30mw/cm²可调; 5、紫外光束角:≤3°; 6、紫外光中心波长:365nm; 7、紫外光源寿命:≥2万小时; 8、工作面温度:≤30℃ 9、采用电子快门; 10、曝光分辨率:2μm(曝光深度为线宽的10倍左右) 11、曝光方式:接触式曝光; 12、掩模版尺寸:≤127×127mm; 13、基片尺寸:≤ Φ100mm; 14、基片厚度:≤5 mm; 15、曝光定时:0~999.9秒可调;
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