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四川光刻机之单面光刻机的主要构成和特点

所属分类:行业百科    发布时间: 2020-06-20    作者:
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单面光刻机也属于四川光刻机的一种,下面小编为大家介绍一下单面光刻机的主要构成和特点是什么?

四川光刻机

1、适用于4″、3″、2″基片,基片厚度≤1.5mm 。

2、具有相对应的版夹盘,□5″×5″、□4″×4″、□2.5″×2.5″。

3、调密着真空度,能实现硬接触、软接触和微力接触曝光。

4、采用鹰眼曝光头,光的不均匀性≤±3%,曝光时间0~9999.9秒可调。

5、具有预定位靠尺:利用基片切边进行定位,定位精度≤1微米 。

6、具有双工作承片台,利用曝光时间,进行卸片、上片工作。

主要用途

主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、声表面波器件的研制和生产。

由于本机找平机构先进,找平力小、使本机不仅适合硅片、玻璃片、陶瓷片、宝石片的曝光,而且也适合易碎片如砷化钾、磷化铟等基片的曝光以及非圆形基片和小型基片的曝光。

主要构成

主要由高精度对准工作台、双目分离视场显微镜(或CCD显微显示系统)、多点光源(蝇眼)曝光头、PLC电控系统、气动系统、真空管路系统、直联式真空泵、二级防震工作台和附件箱等组成。

成都光刻机

希望以上关于四川光刻机的介绍对你有所帮助,更多信息请持续关注鑫南光官网信息更新。

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