欢迎访问成都鑫南光机械设备有限公司官方网站!

成都鑫南光机械设备有限公司

二十年专业品质 通过ISO9001质量体系认证

立即咨询

24小时咨询热线:
15390063681
新闻资讯
当前位置 当前位置:首页 > 新闻资讯 > 行业百科

想要了解成都光刻机的你,进来看看吧

所属分类:行业百科    发布时间: 2020-06-20    作者:
  分享到:   
二维码分享

近日疫情在国外一些国家爆发,荷兰这一国家的防护物质不够想向中国订购,网络上就出现了一片呼声建议荷兰用光刻机来换。这是为什么呢?光刻机到底有什么魔力是用来干什么的呢?和成都光刻机厂家一起往下了解一下吧。

一、光刻机是干嘛的?

光刻机就是个“投影仪”,把我们想要的影子投影到幕布上。芯片那么精细,是怎么生产出来的呢?用刀刻?用水冲?都不行,因为芯片太精细了,动辄几十nm的线条,日常没有什么材料能做成这么精细的刻刀。所以我们就想了一个办法,用光线来刻,这也就是光刻机。怎么个用光刻法呢?我们都用过胶卷相机吧,胶片平日里是黑色的,不能见光的,一旦见光就会变白,我们也找了一种一见光就“易溶解”的特殊胶片。当我们想要在芯片上刻一个圆圈的时候,我们就在芯片上涂上这种特殊胶片,拿一个圆圈光照上去,再经过一些列后续处理,我们在这个芯片上就做出了一个圆圈图形了对吧。光刻机就是用这种胶片来刻出图形的。剩下的问题是,我们怎么把一种我们想要的特定图形打到胶片上呢?我们见过老式投影仪吧,原理跟皮影戏是一样的,做一个“剪纸”,拿灯光一照,这个剪纸就映在幕布上了。我们也想办法在光刻机里做了这样的“剪纸”,拿光源一照,这个剪纸就映在胶片上了。以上就是光刻机的通俗理解。


二、光刻机原理 光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。

常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System. 一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。 Photolithography(光刻) 意思是用光来制作一个图形。 在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。 下面,简单介绍一下图中各设备的作用。 1、测量台、曝光台:承载硅片的工作台,也就是本次所说的双工作台。 2、光束矫正器:矫正光束入射方向,让激光束尽量平行。 3、能量控制器:控制最终照射到硅片上的能量,曝光不足或过足都会严重影响成像质量。 4、光束形状设置:设置光束为圆型、环型等不同形状,不同的光束状态有不同的光学特性。 5、遮光器:在不需要曝光的时候,阻止光束照射到硅片。


6、能量探测器:检测光束最终入射能量是否符合曝光要求,并反馈给能量控制器进行调整。 7、掩模版:一块在内部刻着线路设计图的玻璃板,贵的要数十万美元。 8、掩膜台:承载掩模版运动的设备,运动控制精度是nm级的。 9、物镜:物镜由20多块镜片组成,主要作用是把掩膜版上的电路图按比例缩小,再被激光映射的硅片上,并且物镜还要补偿各种光学误差。技术难度就在于物镜的设计难度大,精度的要求高。 10、硅片:用硅晶制成的圆片。硅片有多种尺寸,尺寸越大,产率越高。题外话,由于硅片是圆的,所以需要在硅片上剪一个缺口来确认硅片的坐标系,根据缺口的形状不同分为两种,分别叫flat、notch。 11、内部封闭框架、减振器:将工作台与外部环境隔离,保持水平,减少外界振动干扰,并维持稳定的温度、压力。

三、认清光刻机性能指标

1、光刻机的主要性能指标有:支持基片的尺寸范围,分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等。 2、分辨率是对光刻工艺加工可以达到的最细线条精度的一种描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,所以与光源、光刻系统、光刻胶和工艺等各方面的限制。 3、对准精度是在多层曝光时层间图案的定位精度。 4、曝光方式分为接触接近式、投影式和直写式。 5、曝光光源波长分为紫外、深紫外和极紫外区域,光源有汞灯,准分子激光器等。

四、光刻机作用

光刻机是微电子整备的空头,其具有技术难度最高、单台成本最大、决定集成密度等特点。

今天的内容就到这里啦。希望让您对光刻机有一定的了解。成都鑫南光机械设备有限公司专业提供在微电子工艺生产方面使用的多种型号光刻机;在真空钎焊、陶瓷金属化、烧氢退火工艺等方面使用的各型真空炉、氢气炉;在零件真空干燥(储存)柜、真空镀膜机等设备的设计和制造方面,公司均有自己独特的专长。 欢迎大家致电我司了解详情!







鑫南光咨询服务热线:
15390063681

立即在线咨询预约

扫一扫有惊喜哦

二维码
地址:成都市蛟龙工业港双流园区渤海路36号(3座)
版权所有:

成都鑫南光机械设备有限公司

备案号:蜀ICP备12015633号-3

网站地图 RSS XML  
联系人:刘经理 电话:028-85730589     技术支持:  万家灯火  
  全国服务热线:13908187709  邮箱:15390063681@qq.com